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    電鏡流體微元控溫芯片及其制作方法

    1158   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:52
    本發明涉及一種離子束刻蝕制作電鏡流體微元控溫芯片的方法及產品，所述電鏡流體微元控溫芯片包括上片和下片，上片和下片均為正反面都設有絕緣層的硅基片，上片的正面與下片的正面通過粘結層固定粘結，上片、下片和粘結層共同構成一腔室；上片上設有第一視窗，下片上設有加熱電極、進液口、出液口、加熱絲和第二視窗，加熱絲位于第二視窗內；本發明提供的電鏡流體微元控溫芯片可在第二視窗內直接觀察到加熱絲形貌，可用于流體局部溫度變化的測量和對流體微元的反饋控溫，便于使用者更好地了解微米納米流體溶液中局部位置的熱反應過程，流體微元間的相互作用以及微元部分溫度變化對化學反應的影響。
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