本發明提供在光固化性組合物、化學增幅型負型光致抗蝕劑組合物中有用的光產酸劑,其是對這些組合物的耐黃變性有用的有用的光產酸劑。本發明的光產酸劑的特征在于,其含有下述通式(1)所表示的锍鹽(CA)和通式(2)所表示的化合物(S),在設利用高效液相色譜(HPLC)測定锍鹽(CA)和化合物(S)的總量時的锍鹽(CA)和化合物(S)的總面積為100時,化合物(S)的面積比為0.02以上3.0以下。
聲明:
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