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    反應罩

    835   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:56
    本發明涉及一種用于氯氣刻蝕烘烤設備的反應罩，該反應罩由耐溫、隔熱并具有高透光性的材料整體制成，并在其頂面設有用于容納溫度測量裝置的第一管和供氣體進入的第二管。第二管通入到設置在反應罩內的多層孔板結構，第一管穿透多層孔板結構而通到反應罩內部。多層孔板結構至少包括分層排列的第一和第二孔板，第一和第二孔板上分別分布有構成第一和第二圖案的多個孔。本發明的反應罩為氯氣刻蝕烘烤設備提供合適的反應空間，以保證氯氣刻蝕烘烤設備為金屬有機化學氣相沉積設備提供可重復利用的清潔石墨盤和刻蝕清潔的外延襯底片，從而在充分清潔石墨盤表面和外延襯底片的沉積物的同時，改善外延片的生長成品率和襯底片的重復利用率。
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    “反應罩” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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