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    晶界工程化的α-氧化鋁涂層切削工具

    888   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:56
    本發明提供如下的切削工具刀片，其由硬質合金、金屬陶瓷、陶瓷、鋼或超硬材料例如立方氮化硼（CBN）的基底和具有5至40μm的總厚度的涂層組成，所述涂層由一個或多個耐火層組成，在所述耐火層中，至少一層為具有1至20μm的厚度的α-Al2O3層。為了提供本發明切削工具刀片的改進的切削性質、改進的抗崩刃性和改進的耐凹坑磨損性，在所述至少一個α-Al2O3層中∑3-型晶界的長度大于∑3、∑7、∑11、∑17、∑19、∑21、∑23和∑29-型晶界的晶界之和（=∑3～29-型晶界）的總長度的80%，通過EBSD測量晶界特征分布。本發明的切削工具可以通過如下方法獲得，其中所述至少一個α-Al2O3層通過化學氣相沉積（CVD）來沉積，所述CVD工藝的反應氣體包含H2、CO2、AlCl3和X及任選加入的N2和Ar，其中X為氣態的H2S、SO2、HF、SF6或其組合，其中在所述CVD反應室中CO2與X的體積比在2< CO2/X< 10范圍內。
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