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    涂覆有水阻擋涂層的器皿、容器和表面

    853   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:58
    器皿可以具有至少部分被壁限定的內腔。所述壁具有面向所述內腔的內部表面、外表面以及由所述壁支撐的等離子體增強的化學氣相沉積(PECVD)涂層組。所述PECVD涂層組包括使用前體施加的水接觸角為從80至180度的水阻擋涂層或層，所述前體包含具有從1至6個碳原子的飽和或不飽和的氟碳化合物前體和具有從1至6個碳原子的飽和或不飽和的烴中的至少一種。任選地，所述涂層組包括從2至1000nm厚的SiOx氣體阻擋涂層或層，其中x是如通過x射線光電子能譜(XPS)測量的從1.5至2.9，以及任選地其他相關的涂層。
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