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    全息凹面閃耀光柵的母板及其制備方法

    932   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:59
    本發明公開了一種全息凹面閃耀光柵的母板及其制備方法，制作步驟如下：（1）制備全息凹面光柵掩模；（2）在全息凹面光柵掩模上沉積金屬層；（3）在所述金屬層上涂布粘合劑；（4）將與凸模連接的金屬層和所述全息凹面光柵掩模分離，清洗，獲得凸面金屬光柵掩模；（5）測量所述凸面金屬光柵掩模的柵齒結構，獲得柵齒占空比信息；采用電鑄或鍍膜的方式以及化學腐蝕或離子刻蝕的方式調節柵齒的占空比；（6）采用離子束刻蝕凸面金屬光柵掩模，使凸面金屬光柵掩模轉變成三角形閃耀結構，得到全息凹面閃耀光柵的母板。本發明將凹面光柵掩模結構轉移到凸面金屬層上，金屬層柔韌性好，光柵槽型結構轉移精度高，不易開裂變形，耐用性好。
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    “全息凹面閃耀光柵的母板及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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