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    柔性壓電應力傳感器的制備方法及其產品

    1040   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:02
    本發明屬于柔性壓電應力傳感器相關技術領域，并公開了一種柔性壓電應力傳感器的制備方法，包括：在基體上蒸鍍銀電極制備得到底電極；壓電層是溶液旋涂方法得到的二甲基硅氧烷包覆10～30wt.％壓電納米片，壓電納米片由化學合成方法制備釔摻雜的氧化鋅構成；在壓電層表面蒸鍍形成頂電極，同時形成三明治構造體；將三明治構造體從玻璃基體上剝離下來，用微米級的銅線將上下電極引出，最后通過PET薄膜將電極封裝得到柔性壓電薄膜傳感器。本發明還公開了相應的產品。通過本發明，提供了一種新型的制備路線，同時具有柔性好、結構簡單、穩定性好、靈敏度高等優點，因而尤其適用于人體健康監測、仿生機器人等領域。
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    “柔性壓電應力傳感器的制備方法及其產品” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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