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    石墨烯/金屬氧化物復合膜氣體傳感器及其制備方法

    1102   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:03
    本發明公開了一種石墨烯/金屬氧化物復合膜氣體傳感器及其制備方法，屬于微電子機械系統氣體傳感器技術領域，其目的在于提出一種傳感器，通過以金屬氧化物納米粒子作為催化媒介減小石墨烯薄膜對氣體響應時氣體分子電子轉移的化學勢壘，從而增強單一石墨烯薄膜的氣體敏感特性。本發明基于石墨烯材料優異的氣體敏感特性，在叉指電極上優先沉積一層納米級的金屬氧化物粒子，再沉積石墨烯薄膜層，通過加熱工藝獲得具有氣體敏感增強效應的石墨烯/金屬氧化物復合薄膜。本發明適用于氣體傳感器，實現對不同氣體高靈敏度和高選擇性探測。
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