一種檢測表面與表面薄層內缺陷的光聲光熱無損檢測儀,主要由泵甫光源、聲光調制器、三個光束位置探測器、樣品架、探測光源、聚焦鏡、鎖定放大器、功率計和微機等所組成,泵甫光束垂直照射樣品表面,探測光束分成與樣品表面平行和成一定角度的兩束,樣品架有三個帶臺階的孔可安放光聲池和透明與非透明樣品,后面有三個光束位置探測器分別探測透射、反射和掠射光熱偏轉光束。樣品架轉動可改換樣品以進行不同方式的檢測。
聲明:
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