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    無損檢測導電氧化物薄膜電學性能的方法

    1178   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:42
    本發明的目的在于提供一種快速、無損檢測導電氧化物薄膜電學性能的方法，首先利用激光拉曼(Raman)光譜儀測定導電氧化物薄膜的特定光譜，將特定光譜進行定量，定量方法可對拉曼的E2high，AM和LO三種信號進行準確定量與區分，進而間接解決了該三類信號對應的本征缺陷或非本征缺陷結構難以定量的難題；接著將光譜定量數據與霍爾測試儀實際測到的電學數據進行比對分析，得出對應關系；最后根據對應關系，就可以利用拉曼光譜儀這種無損檢測手段，快速測量出導電氧化物薄膜的電學性能，在檢測領域具有極大的應用前景。
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