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    光柵表面質量無損檢測方法和裝置

    1077   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:47
    一種光柵表面質量無損檢測方法和裝置,其核心主要是采用平行光照明待測光柵時,在該光柵的整數泰伯距處形成光柵的泰伯像,然后用納米光纖探針掃描該泰伯像,并將探測的光信號轉變成電信號,再由計算機進行數據處理,即可獲得該光柵的周期、均勻性、直線度和整體均勻性等參數,本發明的方法將會成為高密度光柵表面質量檢測的一種有用新方法,具有重要的學術價值和應用前景。
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