本發明提供了一種紅外熱成像快速無損檢測薄膜厚度均勻性的方法。該方法利用加熱裝置提供均勻、穩定的熱通量加熱待測薄膜,加熱后的薄膜向外發出紅外輻射,紅外攝像裝置接收輻射信號,并將輻射信號轉變成電信號,經后處理裝置處理后,將待測薄膜表面的溫度分布圖顯示出來。在某一特定時刻,待測薄膜表面的溫度變化的百分比與厚度變化的百分比相等。待測薄膜表面溫度無差異就說明薄膜厚度均勻。該方法可以快速、無損檢測薄膜厚度均勻性,且無視待測薄膜是否導電、是否透明??捎糜阡囯姵貥O片、塑料袋的密封檢測等。
聲明:
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