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    用橢圓偏振光譜儀無損檢測金屬襯底氧化變性的方法

    890   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:52
    本發明涉及一種用橢圓偏振光譜儀無損檢測金屬襯底氧化變性的方法，所述方法使用“金屬襯底?目標氧化物”光譜作為目標光譜，使用“金屬襯底?金屬氧化界面?目標氧化物”光譜作為參考光譜，通過擬合及對比能夠快速判斷出金屬氧化界面的存在，并進一步分析其成分及厚度等信息，與此同時獲得目標氧化物的厚度及光學常數。本方法測量精度高、對樣品無損傷、對薄膜材料具有普適性。
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    聲明：
    “用橢圓偏振光譜儀無損檢測金屬襯底氧化變性的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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