本實用新型涉及一種光學無損檢測物品表面的裝置,其特征在于:在激光器的光軸上設置擴束準直透鏡組;在被測物品反射光束的中心軸線上依次設置分光棱鏡、可前后移動的平面反射鏡;在與被測物品反射光束的中心軸線垂直的方向上在分光棱鏡的兩側分別設置可轉動的平面反射鏡和帶鏡頭的線陣CCD,且可前后移動的平面反射鏡到分光棱鏡的距離與可轉動的平面反射鏡到分光棱鏡的距離相等;帶鏡頭的線陣CCD固定在微位移平臺上,線陣CCD采集的圖像信號輸出至計算機,計算機的控制信號輸出至微位移平臺控制微位移平臺的移動。利用線陣CCD推掃,沿所述移動軌道推掃得到的散斑圖消除了散斑像的離焦現象,從而有效提高了缺陷檢測的靈敏度。
聲明:
“光學無損檢測物品表面的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)