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    利用能譜分析無損檢測試樣膜厚的方法

    1208   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:53
    本發明公開了一種利用能譜分析無損檢測試樣膜厚的方法，利用不同成分的膜層在加速電子轟擊下，會激發不同特征X射線的原理，對標塊進行加速電子轟擊，制定出膜層特征元素與膜厚之間的對應關系標準曲線，然后分析對待測試樣進行加速電子轟擊后得出的X射線的強度與頻率，得到元素的含量，對比標準曲線，計算出膜層厚度。本發明僅采用常見的掃描電子顯微鏡和能譜儀，無需額外的檢測特制輔助設備和配件投入，成本低且操作簡單，適用于納米及微米范圍內，無機非金屬、高分子和金屬各類膜層，同時適用于單層、雙層和三層復合膜層的膜厚檢測，適用范圍廣，且不會對樣品造成損壞。
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    “利用能譜分析無損檢測試樣膜厚的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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