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    超聲顯微鏡無損檢測性能的綜合校準試塊

    742   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:53
    本發明提供了一種超聲顯微鏡無損檢測性能的綜合校準試塊，本發明通過設計一組特殊構形的缺陷試塊來完成對超聲顯微檢測系統綜合性能參數的校驗，經過一次掃查，即可得到超聲顯微鏡綜合參數，能夠實現對超聲顯微鏡的綜合參數檢測，并能夠適用于對多種超聲顯微鏡。試塊上最小的缺陷尺寸為10微米，試塊精度很高。缺陷包括沉孔、條狀凹槽、菱形刻痕、圓形刻痕以及正方形刻痕，試塊為方形且等分為4個部分，分別為第一部分、第二部分、第三部分和第四部分；所述第一部分上表面設置有沉孔；所述第二部分上表面設置有條狀凹槽；所述第三部分的上表面設置刻痕；所述第四部分的上表面設置有一組不等間距分布的正方形刻痕和兩組尺寸不同的沉孔。
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