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    對薄層材料進行無損測量的方塊電阻測試儀及其測試方法

    882   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:58
    本發明公開了一種對薄層材料進行無損測量的方塊電阻測試儀及其測試方法，該測試儀包括紅寶石四探針頭、測試架、主機、測量控制系統、測試電壓調節器和恒流源通斷切換開關，主機內包括恒流源電路和電源電路，測試電壓調節器設置在電源電路和四探針頭之間，用于在測試開始前調節四探針頭中兩個外探針之間的測試電壓。恒流源通斷切換開關設置在恒流源電路和四探針頭之間，用于控制在探針針尖完全壓觸在薄層材料表面后才接通恒流源電路。本發明還公開了基于上述測試儀的測試方法。本發明可以調節1、4探針的測試電壓，避免發生高壓擊穿，紅寶石四探針頭有恰當曲率半徑和壓力，探針壓力可在25-250g的較大范圍內變化，能夠廣泛應用于測量各種新型薄層材料。
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