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    基于拉曼分析的無損高深寬比結構的測量裝置及方法

    1193   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:59
    本公開涉及一種基于拉曼分析的無損高深寬比結構的測量裝置及方法，該裝置包括：激光光源發射出激光光束；聚光部件使激光光束聚焦于可動載物臺上方且使得聚光部件的焦平面位于初始位置，并在測量過程中控制焦平面從初始位置移動到待測孔的底面；可動載物臺承載待測樣品且能夠在與光路主軸垂直的平面移動，待測樣品中待測孔的軸向與光路主軸平行且待測孔處于與激光光束的聚焦區域對應的位置；探測模塊對入射的待測樣品返回的拉曼散射信號進行采集，并根據采集結果確定出待測孔的結構參數?？蓪Ω呱顚挶冉Y構進行快速無損測量，有助于高效評估加工質量和微結構特征，為提高工藝良率、優化工藝條件提供依據。
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