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    無損、快速TSV結構側壁形貌測量方法

    977   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:59
    本發明公開了一種無損、快速的TSV結構側壁形貌測量方法，包括如下步驟：利用高分辨率IR顯微鏡，調節聚焦深度，選取多個焦平面；選定其中一焦平面，并針對該焦平面所獲得的圖像，獲得圓心的位置；計算邊緣輪廓到圓心的距離，獲得該焦平面圖像的邊緣到圓心的距離分布；改變焦平面位置，重復步驟三，計算出每一個焦平面圖像的邊緣到圓心的距離分布，獲得在同一個旋轉角度下，邊緣在深度方向到圓心的距離分布；結合步驟五所得的計算結果，得到TSV結構側壁的三維形貌分布；通過統計計算，獲得TSV結構側壁的形貌測量。
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    無損檢測
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