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    用于片狀材料的無損測量和繪制分布圖的方法和裝置

    944   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:00
    用于載流子濃度和遷移率的非接觸式測量的裝置包括:微波源(16);用于向位于測試位置的樣品(59)(例如半導體晶片或平板顯示器的屏面)發送微波輻射的圓波導(50);用于檢測正向微波功率的第一檢測器(18);用于檢測被樣品反射的微波功率的第二檢測器(23);以及用于檢測霍爾效應功率的第三檢測器(95)。所述樣品作為只傳輸TE11模式的圓波導(50)的終端負載,而樣品的后面設置短路器(58)。在垂直于樣品平面(并沿著圓波導(50)的軸)的方向上施加磁場。在這種配置中,給定的TE11模式入射波將引起兩束反射波。一束是普通的反射波,其極化方向與入射波相同。提供檢測器來檢測所述反射的輻射。另一束反射波是由霍爾效應引起的,其極化方向垂直于前一種反射波的極化方向,提供探頭(70)來檢測所述另一束反射波。用探頭(70)檢測所述另一束反射波,在單一檢測器中將探頭(70)的輸出與正向輻射中經過衰減和移相的部分相組合。
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