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    曲面膠厚檢測裝置及曲面膠厚逐點檢測方法

    907   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:06
    本發明公開了一種曲面膠厚檢測裝置及曲面膠厚逐點檢測方法。該曲面膠厚檢測裝置包括激光發射器、導軌、分光棱鏡、第一光功率計、第二光功率計和透鏡,分光棱鏡設置于導軌上,激光發射器發出的光線照射在分光棱鏡上,經過分光棱鏡后的透射光線照射在第一光功率計上,經過分光棱鏡后的反射光線照射在透鏡上,經過透鏡的光線沿被檢樣品的膠層曲面球心方向入射,光線在被檢膠層曲面反射后沿入射光路返回,依次經過透鏡和分光棱鏡后照射在第二光功率計上。本發明可實現無損地對曲面基底上的光刻膠厚度及分布進行逐點測量。
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    聲明：
    “曲面膠厚檢測裝置及曲面膠厚逐點檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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