本實用新型涉及鈣鈦礦電池技術領域,具體涉及一種鈣鈦礦膜的缺陷檢測設備。鈣鈦礦膜的缺陷檢測設備,包括密封艙、第一檢測單元、第二檢測單元和信號處理單元;所述第一檢測單元包括第一傳送裝置、第一激光源發射裝置、第一傳感器、相機和第一龍門架;所述第二檢測單元包括第二傳送裝置、第二激光源發射裝置、第二傳感器、光探測器和第二龍門架;所述信號處理單元分別連接所述相機和所述光探測器。通過各個單元的配合,可對大面積鈣鈦礦薄膜進行無損檢測,高效,可進一步提高鈣鈦礦的成膜質量。
聲明:
“鈣鈦礦膜的缺陷檢測設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)