本發明公開了一種薄壁封閉玻璃腔室光學參數的檢測系統,包括光源、鎖相放大器、光學斬波器、光電探測器、分光片、透鏡、光闌和計算機;光源產生激光進入主光路,經兩個透鏡調節光斑尺寸,再經光闌整形光斑、控制光強;輸入光經分光片形成參考光路和測量光路,測量光路的激光經過腔室的表面,反射到光電探測器中,其輸出信號經鎖相放大器調制,連接計算機;參考光路的激光直接由光電探測器檢測,其輸出信號經另一鎖相放大器調制,連接計算機。本發明還提出一種與之相應的檢測方法。本發明解決了薄壁封閉玻璃腔室光學參數(物理壁厚、折射率)無損檢測的問題,為超高靈敏慣性與磁場測量裝置后續的深入研究提供了基礎。
聲明:
“薄壁封閉玻璃腔室光學參數的檢測系統及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)