本發明公開了一種基于同心雙錐面鏡的暗場共焦亞表面檢測裝置和方法,點光源發出的光經過中空反射鏡、準直鏡、凸錐面鏡、凹錐面鏡生成環形光,環形光經中空反射鏡、分光棱鏡和物鏡,將環形光匯聚至待測樣品,待測樣品發出的反射光和散射光經過物鏡和分光棱鏡,入射至探測互補光闌,反射光被遮擋散射光經過收集透鏡和探測針孔,入射至光電探測器,從而完成對亞表面的檢測。本發明采用同心雙錐面鏡生成環形光,光能利用率接近百分之百,提高了成像對比度和信噪比;上下移動的圓柱銷可以改變環形光占空比;采用環形光束照明,結合探測互補光闌實現暗場共焦,解決了普通共焦顯微技術檢測亞表面損傷信噪比低的問題,檢測方法適用于亞表面無損檢測。
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