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    基于CT掃描圖像的MEMS結構重構與檢測方法

    875   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:12
    本發明提出了一種基于CT掃描圖像的MEMS結構的三維重構與檢測方法，以解決現有檢測手段檢測環境要求高、不能反應其三維形貌的問題，同時保證了MEMS的無損檢測。本方法首先采用工業CT技術掃描得到MEMS器件的系列圖像，然后進行圖像處理并得到其體數據，根據體數據進行表面模型重建，得到MEMS器件的表面三角網格模型。然后對表面模型進行修復，識別并提取其特征信息將器件模型的不同特征劃分為不同的特征塊，最后對劃分好的特征塊進行擬合，提取特征參數并導出數據接口文件。通過以上技術手段，實現了MEMS結構的三維尺度結構的準確檢測。
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