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    光聲復合三維微納成像檢測系統及方法

    1174   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:15
    本發明公開了一種光聲復合三維微納成像檢測系統，包括光全息光路，還包括計算機、顯微鏡、用于放置固體樣品的壓電晶片和用于驅動壓電晶片振動的功率放大器，計算機上接有同步控制器和數字相機，同步控制器上接有波形發生器和脈沖激光器；光全息光路包括物光光路、參考光光路和第一分束立方鏡，物光光路包括第二分束立方鏡、第一擴束鏡和第一反射鏡，參考光光路包括第三分束鏡、第二反射鏡和第二擴束鏡；本發明還公開了一種光聲復合三維微納成像檢測方法。本發明設計合理，實現方便，能夠適用于不同厚度的固體樣品的缺陷檢測，檢測速度快，檢測精度和可靠度高，真正實現了無損檢測，實用性強，應用范圍廣，便于推廣使用。
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    “光聲復合三維微納成像檢測系統及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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