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    基于同軸雙圓錐透鏡的暗場共焦亞表面檢測裝置和方法

    818   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:17
    本發明公開了一種基于同軸雙圓錐透鏡的暗場共焦亞表面檢測裝置和方法，點光源發出的光經準直鏡形成平行光，平行光依次經擴束器、圓錐透鏡一和圓錐透鏡二形成環形光，環形光經分光棱鏡和物鏡匯聚至待測樣品；待測樣品發出的反射光和散射光依次經過物鏡和分光棱鏡，入射至探測互補光闌，反射光被探測互補光闌遮擋，散射光依次經過探測互補光闌、收集透鏡和探測針孔，入射至光電探測器。本發明采用擴束器以及一組對稱放置的同軸圓錐透鏡實現占空比可調的環形光照明，結合探測互補光闌實現暗場共焦，解決了普通共焦顯微技術檢測亞表面損傷信噪比低、遮擋式環形光發生器占空比不可調、能量損失大的問題，適用于亞表面無損檢測。
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    “基于同軸雙圓錐透鏡的暗場共焦亞表面檢測裝置和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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