本發明公開了一種鏡頭內部形變的弱相干光學檢測方法與系統。利用OCT分別采集鏡頭形變前后各鏡片表面的干涉光譜;提取獲得深度域復數信號;基于深度域強度信號,對各個鏡片表面進行微米精度的表面定位,獲得每個鏡片表面的像素位置及亞像素位置;基于深度域相位信號,檢測納米精度的鏡頭內部形變;基于深度域復數信號分析每個鏡片表面的光譜域相位,以補償深度域相位的包裹量,擴展量程至微米量級。本發明解決了傳統方法中量程和精度不能同時兼顧的問題,實現了鏡頭內部形變的大量程、高精度無損檢測,對偽像問題做了優化,提升了各鏡片表面定位的穩定性。
聲明:
“鏡頭內部形變的弱相干光學檢測方法與系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)