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    自動檢測晶片基底二維形貌的裝置

    950   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:22
    本發明公開了一種自動檢測晶片基底二維形貌的裝置，屬于半導體材料無損檢測技術領域。該裝置中，N束激光的多路出射光是由一個激光器經過一個包含多個分光面的分光棱鏡，通過給所述多個分光面賦予差異化的反射率和透射率，使得經過該分光棱鏡后射出的多路出射光光強相同，即該多路光強相同的出射光不是由多個激光器發射得到的，而是僅僅由一個激光器經過該分光棱鏡的反射、折射得到的，由此，在有限的布置空間內，可以選用體積稍大的激光器，當激光器體積增大后，其內部散熱性能改善，并且，由于該激光器內增設了反饋電路，可以根據需要改變激光器的內部參數，因此，能夠增強激光器的輸出功率和波長的穩定性。
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    “自動檢測晶片基底二維形貌的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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