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    用于具有導電屬性工件平面度的檢測方法和儀器

    1002   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:22
    一種用于具有導電屬性工件平面度的檢測方法和儀器。本發明通過利用導電材料正負極間的間隙效應，極間距離和擊穿電壓的關系接近直線，間隙擊穿電壓梯度基本不變的原理，將探針和砂輪及其附屬件分布做為正負兩極，通過標準件設定最小擊穿電壓和極間距離的函數，以符合該函數的電壓值調整探針與被測件的距離使空氣剛好被擊穿，測得此時探針的位置，從而得出該點與標準件的誤差，通過多點測量得出被測件的平面度，整個測量過程無接觸，實現了無損測量。
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