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    實時快速檢測晶片基底二維形貌的裝置

    773   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:22
    本發明公開了一種實時快速檢測晶片基底二維形貌的裝置，屬于半導體材料無損檢測技術領域。該裝置包括N個PSD，N束激光和第一分光元件，N束激光沿直線排布，其中，N為3以上的自然數，N個PSD與N束激光一一對應，N束激光首先射向第一分光元件，經過第一分光元件后形成入射光，入射光入射到晶片基底上，并在晶片基底上沿徑向形成N個入射點，入射光被基底反射后形成N束第一種反射光束，各第一種反射光束經過第一分光元件透射后，入射到與N束激光相對應的PSD上，形成N個光斑。該裝置能夠與高速旋轉的石墨盤上的藍寶石基底相適應。
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    “實時快速檢測晶片基底二維形貌的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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