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    用于通過熱流熱成像法檢查樣品的方法

    1069   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:23
    本發明提供了一種用于通過熱流熱成像法無損的、非接觸的并且形成圖像來檢查樣品的方法，其中所述檢查包括評價樣品表面下的任何熱流速度轉變的存在和/或深度距離值，其中所述樣品被至少一個激發源的熱脈沖激發，并且源于那里的熱流被至少一個紅外傳感器以熱圖像的圖像序列捕獲，并且其中，通過信號和圖像處理來評價從所述圖像序列獲得的熱圖像，并且以時間和空間分辨率描述熱流。所述方法包括：通過來自所述激發源的熱脈沖相互獨立地至少兩次激發樣品，其中第二次激發以及任何隨后的激發相對于前一次激發被延遲一個時延，由此被捕獲的序列的起點發生在一個圖像序列內的兩個圖像之間的時間內的另一個限定的時間點；通過紅外傳感器以獨立的圖像序列檢測由所述樣品的至少兩次激發過程產生的相應的整個熱流過程，所述圖像序列含有所述激發以及來自樣品的熱應答信號，將所有被捕獲的圖像序列組合為一個總的圖像序列，其中所有的圖像以相對于脈沖狀激發的時間點在時間上是正確的順序排列，并且以本質上已知的方式從所述總的圖像序列中提取來自所述樣品表面的熱流速度轉變的深度距離的指示。在那里，所述熱流速度轉變可以是層狀材料的一個較寬層，或者是基底中或低于工件表面的缺陷。
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    “用于通過熱流熱成像法檢查樣品的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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