通過除去被測材料的表面附著的氧化膜,來確實地實施無損結晶粒徑測量。為此在測定時,首先,向從超聲波檢測器對軋制產品的另一側表面照射激光的照射位置,從表面除去裝置照射激光,除去軋制產品的另一側表面的氧化膜。除去了軋制產品的另一側表面的氧化膜后,從超聲波振蕩器對軋制產品的一側表面照射激光,使得在軋制產品的另一側表面發生超聲波振蕩。然后,通過從超聲波檢測器對軋制產品的另一側表面照射激光,并利用超聲波檢測器接收來自軋制產品的另一側表面的反射光,從而檢測在軋制產品的另一側表面發生的超聲波振蕩,根據超聲波檢測器的檢測結果,算出軋制產品的結晶粒徑。
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