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    低溫微波表面電阻多模測試裝置及方法

    918   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:26
    本發明公開了一種低溫微波表面電阻多模測試裝置，包括圓柱形金屬腔體，以及填充于金屬腔體中的介質材料，金屬腔體底面設有樣品孔，樣品孔的中心軸位于金屬腔體底面的中心。一種利用上述測試裝置測試微波表面電阻的多模測試方法，包括以下步驟：S1、將導體鈮置于樣品孔中，分別測量出TE011工作模式和TE013工作模式下的無載品質因數；S2、將待測樣品置于樣品孔中，分別測量出TE011工作模式和TE013工作模式下的無載品質因數；S3、根據相關公式即可計算待測樣品在TE011工作模式和TE013工作模式下的微波表面電阻值。該裝置及方法利用填充介質圓柱諧振腔的多個模式，可以對低溫下小尺寸樣品在較低頻率下的微波表面電阻進行直接無損測量，測量不確定度低。
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