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    用于節距移動的測量基底及其制備方法、測量方法

    1050   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:26
    本發明屬于光學測量技術領域，公開了一種用于節距移動的測量基底及其制備方法、測量方法。測量基底上設置有測量標記，測量標記包括多個標記單元并構成周期性的第一光柵結構；每個標記單元包括2n個標記線條并構成非對稱型的第二光柵結構。制備方法包括設計測量模板、光刻、犧牲層掩膜、沉積、刻蝕。用于節距移動的測量方法包括制備測量基底，采集并根據測量基底產生的+1階、?1階衍射光的光強，獲得節距移動的大小。本發明解決了現有技術中針對節距移動的測量手段分辨率較低、測量速度較慢的問題，能夠實現高速、無損測量，提高測量的靈敏度和分辨率。
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