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    用于LED外延片光電參數測試的EL快速測試儀

    1138   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:27
    本實用新型屬于半導體光電子器件封測技術領域,公開了一種用于LED外延片光電參數測試的EL快速測試儀,包括P型接觸探針支架,所述P型接觸探針支架固定有液態金屬探針機構,所述液態金屬探針機構包括液態金屬存儲容器、毛細管探針頭和金屬接觸電極,所述毛細管探針頭可拆卸安裝于液態金屬存儲容器下端,所述毛細管探針頭內部流有液態金屬,所述金屬接觸電極的一端與液態金屬接觸,另一端連接信號處理系統。采用鎵銦錫合金液態金屬探針,使得測試探針與樣品表面軟接觸,不易劃傷樣品表面,達到無損傷表面接觸。并且液態金屬在張力的作用下能夠有效的控制接觸面積穩定性,從而提高測試精度。
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