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    納米薄膜靜電疲勞測試方法

    922   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:28
    本申請涉及一種納米薄膜靜電疲勞測試方法，屬于納米薄膜靜電測試方法技術領域。納米薄膜靜電疲勞測試方法包括提供納米薄膜；提供電極板；提供位移傳感器；提供直流電壓源；提供絕緣支撐件，絕緣支撐件具有檢測通孔；將絕緣支撐件支撐于納米薄膜和電極板之間，使電極板位于檢測通孔的下方，納米薄膜覆蓋于檢測通孔的上方且與電極板平行設置，將直流電壓源的正極與納米薄膜電連接，將直流電壓源的負極與電極板電連接；啟動直流電壓源，通過位移傳感器測量納米薄膜向檢測通孔內凹陷的位移量。該納米膜靜電疲勞測試方法，易操作、對納米薄膜無損傷，且適用于現場實測。
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    聲明：
    “納米薄膜靜電疲勞測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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