本發明公開了一種用于二維納米結構材料薄膜表面的缺陷分布的探測方法,涉及材料表面缺陷及其分布檢測領域。該方法首先將樣品進行預先烘干,將樣品表面的水分子清除掉,通過水蒸氣噴射裝置將水蒸氣和其他氣體的混合氣體流通過樣品表面,進行凝結操作;獲取薄膜材料表面水珠在單次和多次凝結情況下的形態、數量和分布特征,確定樣品表面的缺陷分布規律。本發明由于二維薄膜材料表面對水分子的吸附、凝結過程通常在毫秒的時間內完成,所以缺陷的檢測非常迅速;且該方法利用去離子水蒸氣,對材料表面溫和,只需后續烘干即可將樣品恢復至原始的狀態,故該方法對待檢樣品是無損的。
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