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    用于納米材料成像的表面形貌測量系統

    780   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:31
    本發明公開一種用于納米材料成像的表面形貌測量系統。SPR傳感器跟隨掃描平臺在控制器的控制下對待測材料進行逐步掃描，金屬薄膜與待測材料之間的空氣層被視作SPR傳感器耦合結構的一部分，待測材料的表面形貌對表面等離子體共振現象產生影響，由SPR傳感器將每一步的反射圖譜傳送給上位機，上位機將反射圖譜中的表面等離子共振信號提取出來，通過數據分析完成對待測材料的表面形貌重構。該表面形貌測系統能夠實現對樣品的高精度、高分辨率的非接觸無損檢測。
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    “用于納米材料成像的表面形貌測量系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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