本實用新型提供一種能夠進行無損檢查的尺寸測量的玻璃基板的尺寸測量裝置。玻璃基板(G)的尺寸測量裝置(1)具備:浮臺(2),其向水平姿態的玻璃基板(G)的下表面噴出氣體,從而以使玻璃基板(G)浮起的狀態對該玻璃基板(G)支承;以及拍攝元件(4),其對玻璃基板(G)進行拍攝,通過拍攝元件(4)來拍攝包含浮臺(2)上的玻璃基板(G)的測量點(P)在內的圖像數據,從圖像數據獲取測量點(P)的坐標,并基于測量點(P)的坐標來計算玻璃基板(G)的尺寸。
聲明:
“玻璃基板的尺寸測量裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)