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    大量程高精度微接觸力位移測量裝置及其控制方法

    944   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:31
    一種大量程高精度微接觸力位移測量裝置及其控制方法，涉及一種高精度位移檢測裝置及控制方法。音圈電機的動子與氣浮導軌移動部件一端連接，音圈電機的定子與氣浮導軌基座連接，氣浮導軌基座右上端設有中空腔，氣浮導軌移動部件滑動設置在氣浮導軌基座的中空腔內，光柵尺與氣浮導軌移動部件連接，讀數頭與氣浮導軌基座連接；壓電陶瓷執行器首端與氣浮導軌移動部件另一端連接，壓電陶瓷執行器末端與微力傳感探針連接，輔助監控顯微鏡與壓電陶瓷執行器的固定基座連接。本發明用于大量程高精度微接觸力位移測量，可對毫米尺度精密零件及裝配體的尺寸及形狀精度等幾何量進行納米精度的無損測量。
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