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    雙二維MEMS微鏡掃描的高靈敏共焦拉曼光譜快速測量方法及裝置

    747   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:33
    本發明涉及一種雙二維MEMS微鏡掃描的高靈敏共焦拉曼光譜快速測量方法及裝置，屬于顯微光譜成像技術領域。該方法利用兩片二維MEMS微鏡實現光束橫向掃描，省去了掃描透鏡和管鏡，并利用二向色分光系統實現反射光和拉曼散射光的無損分離，利用反射光構建共焦顯微成像系統，實現樣品幾何形貌的快速高空間分辨探測；利用拉曼散射光構建共焦拉曼光譜探測系統，對于表面比較平整的樣品，可以進行單層掃描快速完成樣品表面的拉曼光譜探測；對于表面起伏比較大的樣品，可以進行逐點定焦實現拉曼光譜的高空間分辨探測。本發明具有高靈敏、測量速度快、樣品適應性廣(可測量表面起伏較大樣品)、集成度高且結構簡單等優勢。
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