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    環柵器件制備的測試方法與系統

    1022   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:33
    本發明提供了一種環柵器件制備的測試方法與系統，其中，將拉曼測試裝置引入到環柵器件制備的工藝環節，進而，能夠在生長外延層后、刻蝕鰭片后、源漏外延(且偽柵極被去除)、釋放犧牲層后、HKMG包裹溝道后、后等至少之一時間點對溝道對應位置的應力進行測試，在此基礎上，測試結果可反應出溝道對應位置應力隨制備工藝環節的變化。其中，由于拉曼測試裝置的測試光的光斑面積較小，進而，可在測試中表征出較小尺寸的結構應力，同時，該過程中，也不會對樣品表面產生損傷?？梢?，本發明能夠在無損的情況下準確對各工藝環節下溝道對應位置的應力進行測試與表征，為制備工藝的進一步分析與改進提供準確、充分的依據。
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