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    用于原位測量MEMS微梁材料的楊氏模量的方法

    1177   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:38
    本發明涉及用于原位測量MEMS微梁材料的楊氏模量的方法。提供了一種用于原位測量MEMS微梁材料的楊氏模量的方法，包括：獲取MEMS微梁的結構參數、吸合電壓、第一固有頻率和振型函數；根據結構參數、吸合電壓、第一固有頻率和振型函數，確定間隙距離的第一估計值；獲取施加偏置電壓后MEMS微梁的第二高度和第二固有頻率；根據結構參數、吸合電壓、偏置電壓、第二高度、第二固有頻率、振型函數以及第一估計值，確定間隙距離的第二估計值；根據MEMS微梁的結構參數、振型函數、第二估計值、第二高度以及吸合電壓或第一固有頻率，確定MEMS微梁的楊氏模量。上述方法能夠在微梁厚度未知的情況下測量微梁材料的楊氏模量，實現楊氏模量的高精度無損原位測量。
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    聲明：
    “用于原位測量MEMS微梁材料的楊氏模量的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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