本發明提供了一種柔性探頭結構,該柔性探頭結構包括:上盤單元、基盤單元、中盤單元、第一振源單元和第二振源單元,其中,第一振源單元和第二振源單元呈間隔交錯方式排列,第一振源單元穿入基盤單元中,第二振源單元逐層穿入基盤單元和中盤單元中,中盤單元呈孔軸定心方式套穿入基盤單元上,上盤單元呈孔軸定心方式套穿入中盤單元上。本發明提供的柔性探頭結構在實際應用中,檢測晶體采用正方形輪廓可實現采集點最大化,64位微等距振源體單元矩陣布局又可實現采集面最大化,整體架構高度緊湊,突出體現在特別適用于對大曲率表面的一種高效多點位無損檢測。
聲明:
“柔性探頭結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)