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    基于光子晶體的液體傳感器

    1008   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:51
    本實用新型涉及液體檢測技術領域,提供了一種基于光子晶體的液體傳感器,包括有厚度為h2的單晶硅層2;單晶硅層2向上延伸出若干個周期性排列的單晶硅圓柱體1,單晶硅圓柱體1的厚度為h1、半徑為r,水平相鄰單晶硅圓柱體之間水平間距為a,豎向相鄰單晶硅圓柱體之間的垂直間距為b;單晶硅層2下表面固定有厚度為h3的銀襯底3,且h3>>h1、h2。本實用新型提供的液體傳感器對環境介質具有高靈敏性,能夠進行高精度、無損測量。
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