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    紫外光電二極管及其制備方法

    844   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:57
    本發明屬于半導體技術領域，公開了一種紫外光電二極管及其制備方法。所述紫外光電二極管，包括以下結構：襯底；GaN層，設置于所述襯底的上表面；Ti3C2肖特基接觸層和歐姆接觸層，相對設置于所述GaN層上表面的兩側；金屬觸點層，設置于所述Ti3C2肖特基接觸層的上表面。所述紫外光電二極管具有優異的紫外光探測性能，響應度率大，比探測率高，響應速度快，且具有高電流開關比；所述制備方法無需復雜的金屬沉積或濺射工藝，對半導體表面無損傷，工藝簡單。
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