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    用于提升晶片晶向角度的工裝

    907   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:24
    本發明涉及一種用于提升晶片晶向角度的工裝，包括水平設置在晶向角度磨削機上的底座，所述底座上表面等距開設有晶體放置槽，所述底座上方設有X軸總成，所述X軸總成上設有激光測距儀。該用于提升晶片晶向角度的工裝，通過氣缸推動有效的提高磨削速度，通過底座在晶體表面行走的方式，判斷晶體基準面是否垂直，以保證晶體表面的完好無損，同時激光測距儀使測量速度增快，加工精度高，精度可達到±3′，確保了晶體晶向角度的高精度及表面高品質，符合加工要求，使晶片表面無明顯切割痕跡，高平整度可控制在±3′，確保成品率及其穩定性，不會對晶體產生劃痕、壓碎、磕邊、污染等不良現象。
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