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    Flash產品的ONO薄膜缺陷的失效分析方法

    1095   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:30
    本發明公開了一種Flash產品的ONO薄膜缺陷的失效分析方法，包括對待分析Flash樣品的上表面各層進行減薄處理，露出含有ONO薄膜缺陷的儲存單元的第一多晶硅層區域，使用選擇性化學溶液對第一多晶硅層進行腐蝕去除，露出ONO薄膜，在ONO薄膜缺陷處，通過化學溶液繼續對該缺陷下方的第二多晶硅層進行腐蝕去除，對被腐蝕的ONO薄膜缺陷處進行定位，并制備缺陷平面樣品，供進一步進行缺陷觀察及失效分析。本發明可以更方便、準確且更精細地分析Flash產品的ONO薄膜缺陷，大大提高失效分析的效率，從而幫助迅速提高Flash產品的良率和可靠性。
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    失效分析
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