器件多余物微粒碰撞檢測裝置的振動臺負反饋失效檢測系統及其檢測方法,涉及器件多余物檢測技術領域。本發明是為了解決現有的器件多余物微粒碰撞檢測裝置振動臺負反饋失效時會產生過大的振動加速度,可能會振落或振飛振動臺面上的被測件,造成周圍的設備或工作人員受到損害的問題。先是根據振動臺不同的振動頻率選取失效檢測所需的閾值;再次,在振動臺運行時,根據所述閾值判斷所述裝置的所述振動臺負反饋是否失效,如果失效則拉低驅動器的驅動信號,使振動臺停止振動。它用于消除了振動臺負反饋失效后振動臺臺面撞底的現象。
聲明:
“器件多余物微粒碰撞檢測裝置的振動臺負反饋失效檢測系統及其檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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